公司新聞
當前位置:首頁 >> 技術支持光刻膠有分類如下:
光刻膠是LCD液晶屏光刻工藝的主要材料,光刻膠種類很多,目前國內外的光刻膠品種已達40多種。根據光刻膠曝光前后溶解度特性的變化,可將光刻膠分為正性膠和負性膠兩大類。
1,負性膠
這種膠在曝光前對某些有機溶劑(丙酮,丁酮,環已酮)是可溶性的,曝光后發生光聚合反應,不溶于有機溶課劑。當用它進行光刻時,在襯底表面將得到與光刻掩模版遮光圖案完全相反的圖形,故稱之為負性膠。目前,它主要由聚肉桂酸脂類,聚脂類和聚烴類(環化像膠)等組成。
2,正性膠
這種膠在曝光前對某些溶劑是不可溶的而曝光后卻變成了可溶的。使用這種膠光刻時,能得到與光刻掩模版遮光圖案相同的圖形,故稱為正性膠。正性膠目前主要由鄰迭氮醌型化合物(感光性),苯駢三氮唑(增感劑)和乙二醇單乙酸丁脂(溶劑)組成。